光电耦合测量

探针台选型指南

1.探针台体尺寸：

• 4英寸/6英寸/8英寸/12英寸；
• 决定了载物台放样品的尺寸、载物台的X-Y行程。

2.显微观察倍率：

• 体视显微镜：综合放大倍率14X~200X（配合CCD相机+显示器），光学小分辨率约5微米）；
• 金相显微镜：综合放大倍率20X~2000X （配合CCD相机+显示器），光学小分辨率约0.5微米）。

3.探针座和夹具：

• 器件是几端口：二极管为2端，三极管为3端；
• 测量何种参数：电压、电流、电阻、电容、单色光、激光、光谱、光强；
• 配套仪表：数字源表、半导体参数分析仪、矢量网络分析仪、频谱仪、信号发生器、示波器、锁相放大器等。

4.屏蔽和隔振：

• 防静电、遮光线、实验室环境电磁干扰、楼层振动、操作振动。

光电集成方案

1.光源种类：

• 光源+单色仪：波长可调节，能量较小。
• 激光光源：单波长、能量较大。

2.光电结合方式：

• 将外加光源引入探针台显微镜接口，让外加光从显微镜物镜头出射到样品
  优点：利用探针台显微镜观察定位 外加光源的光斑，垂直90°出射，移动定位便捷；
  缺点：外加光 经过显微镜内部后，衰减较大。
• 利用探针座特制夹具，夹持光纤，选取出射角度
  优点：光衰减小，照射角度灵活定制；
  缺点：不同波长或类型的光纤，需要定制多种不同光纤夹具。