直流探针

开尔文探针

开尔文探针规格和应用特点：

• 探针做热补充处理，防止变温实验时探针产生位移离开样品接触点

• 双SSMC接头，同轴Kelvin开尔文设计

• 两组探针可实现四线法连接，进行IV/CV/Pulse IV测量

• 可替换针尖，常用针尖半径有1.5 / 5.0 / 10.0 μm

• 直流小信号测量电流精度<10fA
  

• LCR测试<10fF

• 时序信号完整性测试

• 脉冲激发/测量，脉冲小信号测量时间精度10ns

开尔文同轴探针工作原理示意图：

上图红色方框内为本次所说明的探针夹具，下图为放大后的连线使用

详解图：

开尔文同轴探针与泰克4200A-SCS半导体参数测试仪连接实测的漏电流数据图如下：

射频高阻有源同轴探针

多用途高速无源同轴探针

微波无源同轴探针

波导同轴探针

微波&直流混合探针卡

微波&射频校准片

探测光纤

探测光纤规格：

真空陶瓷探针

真空陶瓷探针规格和应用特点：

• 探针为陶瓷衬底的同轴设计，分为内层芯体和外层Guard保护层。

• 探针的Guard保护层与探针台内部的同轴电缆线的外层屏蔽线连接，同轴电缆再与探针台外部的三同轴接口连接，实现从探针台外部接口到探针之间电信号的全程Guard保护性传输。

• 配合半导体分析仪或高精度源表测试微小漏电流小于100 fA。

• 探针热沉到样品台，减小探针和样品台的温差。

• 针尖直径有5.0μm / 10.0μm。

陶瓷探针与泰克4200A-SCS半导体参数测试仪连接实测的漏电流数据图如下：