微定位底座

精细准确的探针座微定位功能

  • 1. 精细螺纹加工技术，螺纹牙距80TPI/100TPI/200TPI/300TPI，对应的定位精度分别为1.4微米/0.7微米/0.35微米/0.25微米；螺纹牙距指的是相邻两牙在中径线上对应两点间的轴向距离。用TPI=Thread Per Inch即每英寸（25.4mm）有多少个螺牙来表示。
    例如：100TPI代表的位移精度=25.4mm/100/360°=0.0007mm=0.7μm；

  • 2. 线性V型轨道设计，从头到尾、由正向反顺畅一致的行程，无蛇形、无回差准确地“定点降落”到测试点；

  • 3. 精密装配技术，数月、数年的反复使用，无崩牙，极低故障率。

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HMP-200规格：

  •  重量 1200克

  •  精度 0.35μm

  •  牙距 200螺纹/英寸

  •  X-Y-Z线性移动范围 12mmX12mmX12mm

  •  特点：无回差线性移动，可靠性非常好

  •  吸附类型：磁性可开关型吸附底座 

  •  三同轴（Triaxial）探针夹具

  •  适用于测量微弱电流<100fA


HMP-100规格：

  • 重量 1000克

  • 精度 0.7μm

  • 牙距 200螺纹/英寸

  • X-Y-Z线性移动范围 12mmX12mmX12mm

  • 特点：无回差线性移动，可靠性好

  • 吸附类型：磁性可开关型吸附底座 

  • 三同轴（Triaxial）探针夹具

  • 适用于测量微弱电流<100fA



HMP-80 规格：

  • 重量 500克

  • 精度 1μm

  • 牙距 80螺纹/英寸

  • X-Y-Z线性移动范围 12mmX12mmX12mm

  • 特点：无回差线性移动，可靠性好

  • 吸附类型：磁性可开关型吸附底座 

  • 三同轴（Triaxial）探针夹具，弱电流测量精度<100fA

  • 同轴（Coaxial）探针夹具，弱电流测量精度<10pA。