真空高低温探针台

探针台的系统组成包括:

  • 真空探针台体

  • 温控系统

  • 交变磁场

  • 单筒显微镜

  • 体视显微镜

  • 观察摄像组件

  • 直流探针

  • 开尔文探针

  • 射频/微波探针

  • 光波探针

  • 光学隔振台

  • 转接头

  • 其他升级组件

温度范围:

  • 密闭低温+高温:-60℃ ~ +120 ℃/ 200℃/400 ℃

  • 真空低温+高温:-196 ℃ /269 ℃ ~ +120 ℃/ 200 ℃/ 400 ℃/500 ℃/900℃/1200℃


样品台尺寸:

  • 密闭高低温样品台:4英寸/6英寸/8英寸/12英寸

  • 真空高低温样品台:1.25英寸/2英寸/4英寸 


显微观察倍率:

  • 体视显微镜:综合放大倍率14X~200X(配合CCD相机+显示器),光学小分辨率约5微米;

  • 金相显微镜:综合放大倍率20X~2000X (配合CCD相机+显示器),光学小分辨率约0.5微米。 


微定位座和夹具:

  • 器件是几端口,二极管为2端,三极管为3端,场效应管为4端,特殊多端口器件;

  • 测量何种参数,电压、电流、电阻、电容、单色光、激光、光谱、光强等;

  • 配套仪表,数字源表、半导体参数分析仪、矢量网络分析仪、频谱仪、信号发生器、示波器、锁相放大器等

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